Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 618
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

09: 20
ОАО «НИИК» принимает участие в разработке проектной документации для строительства нового производства карбамида на промплощадке ПАО «КуйбышевАзот» |
09: 00
«Карпатнафтохім» возобновил производство ПВХ суспензионного |
08: 20
Швейцарский концерн Sika локализовал в России производство эпоксидных покрытий |
07: 00
«ЛЛК-Нафтан» вышел на рынок сбыта в Европе и Азии |
07: 00
В Иране открыт крупнейший в мире рудник по добыче свинца и цинка |
09: 00
«Газпром нефти» впервые получила кредитный рейтинг АКРА: «ААА» со стабильным прогнозом |
09: 00
«Роснефть» завершила комплексные инженерные изыскания на шельфе Чёрного моря |
07: 40
«Белшина» запустила расширенную гарантию на свою продукцию |
07: 40
На РУ-4 ОАО «Беларуськалий» наращивают добычу калийной руды |
08: 20
«Уралкалий» заключил соглашение на поставку хлористого калия в Китай в 2017 году |
08: 00
Филиал АО «АЭМ-технологии» квалифицирован в качестве потенциального подрядчика нефтесервисной компании Saipem |
08: 00
ОАО «Гродно Азот» увеличило выпуск продукции в январе-июне на 7,4% |
07: 20
Итоги работы компании «Русские краски» за 6 месяцев 2017 года |
07: 00
Губернатор Волгоградской области высоко оценил опыт развития химического парка на промышленной площадке АО «Каустик» |
07: 00
Объем производства химической и нефтехимической продукции в Иране вырос на 9% по итогам прошлого года |
07: 00
Производство удобрений предприятиями Группы «Акрон» в первой половине 2017 года выросло на 29% |
07: 40
«Уралхиммаш» изготовит шаровые резервуары объемом 5000 м3 для ЗАО «Таманьнефтегаз» |
07: 20
На ПАО «Нижнекамскнефтехим» выработана 17-миллионная тонна этилена |
08: 20
В 2016 году в Китае был отмечен значительный рост добычи сланцевого газа |
07: 40
«Уралхиммаш» изготовит шаровые резервуары для нового комплекса «ЗапСибНефтехим» |
07: 40
НПП «Заря» планирует увеличить объемы закупки европейского сырья |
07: 40
«Крымский содовый завод» успешно завершил реализацию технических мероприятий |
07: 40
«НПК ЯрЛИ» представила новый материал на водной основе для окрашивания различных видов пластика |
07: 40
На «Танеко» начались пусконаладочные работы на второй установке производства водорода |
07: 40
Группа «ФосАгро» приобрела дистрибуционно-логистический комплекс в Брянской области |
07: 40
«Экологические технологии в Прикамье» увеличивает производство гранулированного «Удобрения типа «Калимаг» |
07: 40
АО «ФосАгро-Череповец» ввело в эксплуатацию современные очистные сооружения в рамках программы запуска новых производственных мощностей |
07: 20
«ЭКОдесант» ознакомился с работой КАО «Азот» в области экологии |
17: 40
ФАС России возбудила дело в отношении ОАО «КЗСК» из-за установления высокой цены на синтетический каучук СКБ-30Р |
15: 00
Итальянская Eusider и Iran Ferroalloys Industries Company подписали соглашение по поставкам ферросилиция |
07: 00
«Беларуськалий» увеличил объем производства смешанных минеральных удобрений |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Август 2014: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31