Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 639
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

07: 00
В филиале «Азот» АО «ОХК «Уралхим» прошло объединение цехов аммиака в единое производство |
16: 40
«Славкалий» готовится к размещению двух стволопроходческих комплексов SBR |
10: 20
«Соликамский магниевый завод» планирует начать переработку карбонатов РЗЭ в 2019 г. |
10: 20
«СвердНИИхиммаш» поставит центрифугу для АО «ПО «Электрохимический завод» |
10: 20
На стройплощадке комплекса «ТАНЕКО» состоялся подъем колонны рафината |
15: 20
«Щекиноазот» и SEDIN Engineering подписали договор о строительстве комплекса производств азотной кислоты и аммиачной селитры |
12: 00
ФТС России: РФ сократила долю экспорта продукции химической промышленности по итогам 12 месяцев 2017 г. |
11: 40
Состояние текущего производства хлора в ЕС: итоги 2017 г. |
07: 00
«Тольяттиазот» увеличил объем выпуска карбамида на треть в 2017 г. |
07: 00
«Павлодарский нефтехимический завод» работает в нормальном технологическом режиме |
10: 00
НПП «Заря» совершенствует систему коммуникаций |
10: 00
Азербайджан предлагает Германии создать СП в рамках проекта SOCAR Polymer |
16: 40
«Омский каучук» cохраняет лидерство в производстве МТБЭ и каучуков СКМС в России |
16: 40
В 2018 г. «Пигмент» продолжает успешно вести работу по экологической модернизации производства на предприятии |
16: 20
В Иране произведено 44,202 млн тонн нефтехимической продукции за 10 месяцев |
15: 40
По итогам 2017 г. «Эмпилс» увеличил продажи лакокрасочных материалов |
12: 40
«Омск Карбон Могилев» проведет пусконаладочные работы на заводе по производству технического углерода во втором квартале 2018 г. |
12: 40
Проект «Аммиак–карбамид–меламин» ПАО «Метафракс» застрахован на 58 млрд руб. |
12: 40
Ежегодный доход Ирана от реализации нефтехимической продукции составляет в среднем 20 млрд долл. |
12: 20
«Гомельский химический завод» в 2017 г. увеличил производство фосфорных удобрений на 16,6% |
07: 00
«Новатэк» заключил соглашения о разведке и добыче углеводородов в Ливане |
07: 00
Итоги работы ОАО «Гродно Азот» за январь 2018 г. |
07: 00
EuroChem увеличил объём продаж продукции на 3% по итогам 2017 г. |
07: 00
«ФосАгро» получила третий инвестиционный рейтинг – от агентства Fitch |
07: 00
Сумские машиностроители собирают два «четырехэтажных» блока регенерации триэтиленгликоля по заказу компании IBG |
07: 00
BASF представил новое финишное покрытие для полимерных полов — лак MasterTop TC 942 |
15: 20
В 2017 г. «Лиотех-Инновации» увеличила выручку в 2,5 раза |
15: 20
«Газпром нефть» увеличила чистую прибыль более чем на 26% в 2017 г. |
07: 00
Гродненское «Химволокно» расширяет ассортимент новым композиционным материалом Гроднамид ПА6-Л-213HF |
07: 00
«Гродно Азот» планирует ввести в эксплуатацию цех азотной кислоты в декабре текущего года |
07: 00
«Метафракс» инвестировал в охрану окружающей среды в 2017 г. более 110 млн руб. |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Октябрь 2016: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31