Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 570
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

14: 41
«Белнефтехим» провел переговоры с крупнейшей нефтегазовой компанией Пакистана OGDCL |
14: 41
«Казфосфат» запустил производство экстракционной фосфорной кислоты |
14: 21
Ostchem: по итогам 2016 года доля российского импорта азотных удобрений вырастет с 31% до 50% |
14: 21
«Тольяттиазот» запустил уникальный компьютерный учебно-тренажерный комплекс для подготовки операторов дистанционного пульта управления |
14: 21
Глава Фонда госимущества допускает остановку ПАО «Одесский припортовый завод» |
15: 41
«Сумыхимпром» увеличил объем производства диоксида титана по итогам 8 месяцев 2016 г. |
15: 21
«Грасис» провела модернизацию азотной установки на предприятии по производству химических реагентов |
15: 21
Фонд развития промышленности одобрил финансирование проекта производства фенола-ацетона ГК «Титан» |
14: 21
Концерн Shell продолжает сохранять ведущие позиции на мировом рынке смазочных материалов |
15: 41
На «ТАНЕКО» смонтирована вакуумная колонна |
15: 21
Группа KAZ Minerals начала тестирование и пусконаладочные работы на Актогайской обогатительной фабрике по переработке сульфидной руды |
15: 01
«Азот» продолжает обновление парка спецтехники |
15: 01
«Запорожтрансформатор» поставит реакторы в Малайзию |
17: 01
Немецкая Uhde Inventa-Fischer поставит оборудование для реализизации проекта по созданию первого в России завода по производству полиэфирного волокна в Ивановской области |
14: 21
«Сумское НПО» поставит вакуумный водокольцевой насос болгарской Мondi Stambolijski EAD |
14: 21
Швейцарская компания Sulzer намерена купить французского производителя насосов Ensival Moret |
14: 01
На КАО «Азот» применена новая методика защиты h-катионитовых фильтров в цехе Аммиак-1 |
15: 21
Лаборатория БОС ПАО «Нижнекамскнефтехим» получила переоформленную лицензию |
15: 21
ПАО «Омский каучук» внедряет энергосберегающие технологии |
15: 21
«РусВинил» расширяет марочный ассортимент эмульсионного ПВХ |
15: 21
«Русский кварц» существенно расширит свое присутствие на мировом рынке высокочистого кварца |
15: 01
«Белшина» запустила в работу 8 линий резиносмешения компании Harburg Freudenberger |
15: 01
«Метафракс» и «Уралкалий» - в ТОП-200 крупнейших экспортеров России |
14: 41
ООО «ВолгоХим» и ВОАО «Химпром» планируют запустить производство карбида кальция в апреле 2017 г. |
14: 41
LANXESS Increases Prices for Chrome Chemicals |
14: 01
Министерство промышленности РФ, компания «ЕвроХим» и Правительство Волгоградской области подписали специнвестконтракт на 117 млрд руб. |
16: 21
«Уралхиммаш» изготавливает теплообменное и колонное оборудование для новой установки переработки нефти Московского НПЗ |
16: 21
Компания «ТехноНиколь» вдвое увеличила экспорт каменной ваты |
16: 01
«Алтайский шинный комбинат» модернизирует оборудование каландрового цеха |
16: 01
«Биаксплен» вошел в состав Дирекции базовых полимеров СИБУРа |
15: 41
«Щекиноазот» увеличит мощности по производству метанола до 1,5 млн тонн в год в 2021 году |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003