Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 626
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

07: 00
Приватизацию «Одесского припортового завода» отложили до весны следующего года |
15: 00
На Гарабогазском газохимическом комплексе ускоренным темпом ведутся пуско-наладочные работы |
14: 40
В Украине намерены развивать сферу производства и использование жидкого биотопливо |
14: 20
Белорусская «Лакокраска» завершила модернизацию производства фталевого ангидрида |
13: 20
Производство нитроаммофоски «Акрона» отмечает 35-летний юбилей |
11: 40
Применение отечественной нанотехнологической продукции в проектах «Газпрома» имеет большой потенциал |
07: 00
На ООО «Полиом» отгружена партия ресурсосберегающего оборудования |
07: 00
Фонд Rusnano Sistema Sicar инвестирует в разработку и производство строительных 3D принтеров |
07: 00
На «Газпром нефтехим Салават» заменены внутренние устройства колонны синтеза аммиака |
07: 00
В составе руководства АО «МХК «ЕвроХим» произошли изменения |
07: 00
Аудиторы SGS подтвердили соответствие системы менеджмента в АО «Каустик» и ЗАО «НикоМаг» требованиям международных стандартов |
10: 20
Минсельхоз России: на 18 сентября приобретение минеральных удобрений выросло на 9,3% |
07: 00
«Узкимёсаноат» посетила с рабочим визитом делегация компании China Poly Group |
07: 00
BASF в очередной раз вошел в мировой индекс устойчивого развития Dow Jones |
07: 00
Состоялся экономический саммит РСС «Татнефти» |
07: 00
Завершена подготовка проекта производства гашеной извести для ПАО «Химпром» |
13: 00
«Архангельский ЦБК» выработал 38-миллионную тонну целлюлозы |
13: 00
НПП «Заря» планирует поставлять промышленные взрывчатые вещества на рынок Италии |
11: 00
Программа развития химической промышленности Узбекистана до 2021 г. предусматривает освоение 3,1 млрд долл |
10: 40
«РусВинил» и ИП «Ока-Полимер» подписали соглашение о сотрудничестве |
10: 40
«Сумское НПО» развернуло выпуск атомной продукции по заказу немецкой компании Krantz |
10: 00
«Аэрозолекс» обеспечил в полном объеме финансирование проекта строительства производства диметилового эфира мощностью 10 тыс. тонн в год |
10: 00
«Вязьма-Брусит» реализует проект строительства нового завода по переработке гидроксида магния |
07: 00
«Гродно Азот» увеличило выпуск продукции в январе-августе на 5,8% |
07: 00
«Волжский Оргсинтез» запустил новое производство амилового ксантогената калия |
07: 00
Украинские ученые разработали технологию производства биогаза из сине-зеленых водорослей |
07: 00
«Химпром» получил оборудование для производства гипохлорита кальция |
07: 00
«РусВинил» совместно с ННГАСУ реализует проект по переработке отходов в компоненты для строительных материалов |
07: 00
Наблюдательный Совет ОЭЗ «Алабуга» одобрил 4 новых проекта на 9 млрд рублей |
07: 00
Минэнерго и ФГИ Украины инвентаризируют имущество Одесского НПЗ |
07: 00
Компания Rockwool объявляет о начале строительства первой производственной линии Grodan в России |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003