Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 585
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

13: 00
Концерн «Белнефтехим» в 2016 году сохранил динамику устойчивого развития |
13: 20
В Узбекистане появится еще один газохимический комплекс |
10: 20
«Беларуськалий» подтвердил соответствие системы менеджмента качества международных стандартов ISO 9001:2008 и ISO 14001:2015 |
10: 00
«Воскресенские минеральные удобрения» направили 350 миллионов рублей на экологические проекты |
07: 00
«Рівнеазот» возобновил работу аммиачного комплекса |
07: 00
«Газпром» и CNPC развивают стратегическое взаимодействие в энергетической сфере |
07: 00
НПК «Грасис» поставила азотную станцию для установки подготовки топливного газа Юрубчено-Тохомского месторождения |
07: 00
«Запорожтрансформатор» успешно испытал и отгрузил продукцию для Саудовской Аравии |
07: 00
Актогайский ГОК начал производство медного концентрата из сульфидной руды |
16: 40
«РусВинил» увеличил выпуск продукции в 2016 году на 28% |
15: 00
На Всеволожском заводе Nokian Tyres частично демонтировано здание действующего цеха |
15: 00
«Тольяттиазот» увеличил объем выпуска аммиака в 2016 г. |
16: 20
«Нижнекамскнефтехим» успешно прошел аккредитацию в области проведения испытаний пластиков |
11: 20
В 2016 году площадки СИБУРа в Нижегородской области увеличили выпуск продукции на 11,4% |
11: 20
Администрация Великого Новгорода и «Акрон» подписали cоглашение о социально-экономическом сотрудничестве |
11: 00
Делегация представителей Самарской Губернской Думы посетила ОАО «Тольяттиазот» |
11: 00
НИОСТ принял участие в презентации Томской области в ТПП РФ |
10: 40
ГК «Титан» и «Полиом» увеличили налоговые выплаты |
07: 00
Проект строительства завода по производству фосфорной кислоты «Фосагро» получил одобрение Главгосэкспертизы |
07: 00
Запуск карбидного и хлорного производства Волгоградского «Химпрома» откладывается до начала лета |
07: 00
Предприятия нефтегазохимического комплекса Татарстана произвели продукции на 1,15 трлн рублей |
07: 00
На «ВМУ» подвели производственные итоги 2016 года |
07: 00
Иран запустил производство ТДИ и МДИ в провинции Хузестан |
15: 40
Рост промпроизводства Украины впервые за пять лет составил 2,4% |
15: 20
В Щекинском районе построят новый индустриальный парк |
15: 00
«Полиом» укрепляет свои позиции на российском и зарубежном рынках |
15: 00
«Белшина» наращивает присутствие на внешних рынках стран СНГ и дальнего зарубежья |
15: 00
Показатели работы компании «Татнефть» за январь 2017 года |
15: 00
Вологодская область и «ФосАгро» подписали соглашение об обеспечении сельхозпроизводителей региона минеральными удобрениями в 2017 г. |
14: 40
В 2016 году волгоградский «Каустик» увеличил платежи в бюджет на 28,5% |
14: 40
«Газпромнефть — БМ» в 2016 году увеличила реализацию битумных материалов на 10% |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003