Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 590
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

11: 00
Кемеровский «Азот» готовится к промпроизводству карбамидо-аммиачной смеси |
15: 40
Коэффициент загрузки производственных мощностей на ПАО «Сумихімпром» составил 47,2% в 2016 г. |
15: 20
Заместитель главы Минпромторга ознакомился с этапами производства высокотехнологичной продукции на «РТ-Химкомпозит» |
15: 00
Совет директоров признал успешными результаты работы «ФосАгро» в 2016 г. |
10: 40
ОАО «Волгограднефтемаш» выполняет ответственный заказ для ПАО «Орскнефтеоргсинтез» |
10: 20
На «Омском каучуке» в цехе по производству латексов меняется насосное оборудование |
14: 00
Акционеры ОАО «Уфалейникель» приняли решение остановить производство с 1 апреля из-за неблагоприятной финансово-экономической ситуации |
13: 20
Нанотрубки OCSiAl находят новые применения в стеклопластиках |
12: 20
Представители компании Sun Chemical намерены прибыть с рабочим визитом в Россию |
12: 00
Рустам Минниханов провел очередное заседание Совета директоров ОАО «Татнефтехиминвест-холдинг» |
12: 00
АО «ФосАгро-Череповец» посетила делегация Генерального консульства США |
11: 40
«Сумское НПО» посетила делегация немецкого концерна Rheinmetall International Engineering GmbH и австрийской компании Christof Industries |
10: 00
Омские кластеры обсудили на заседании профильного комитета «Деловой России» |
16: 00
В России запущено импортозамещающее производство термопластичного полиуретана |
15: 40
«Газпром нефть» построит на Омском НПЗ установку по производству водорода |
15: 40
«Норникель» представил Быстринский ГОК на презентации Забайкальского края |
14: 00
«Уралхим» направил 217 млн руб. на энергосбережение в 2016 году |
15: 20
«Беларуськалий» выпустил пробную партию NPK-удобрений в мелкой фасовке |
15: 20
Гендиректором сбытовой сети по продаже минеральных удобрений ООО «ФосАгро-Регион» назначен Роман Овчаренко |
15: 20
Власти Китая не упустят из внимания вопрос трудоустройства при ликвидации избыточных производственных мощностей |
15: 00
«Татнефть» освоила выпуск новой продукции |
14: 40
«ТехноНиколь» планирует увеличить экспорт субстратов из каменной ваты на 35% |
14: 20
СИБУР достиг рекордного показателя по глубине переработки ПНГ |
16: 40
Компания Bayer продает 10,9% акций компании Covestro институциональным инвесторам |
16: 20
Генеральным директором управляющей организации по АО «Апатит» назначен Андрей Абрашитов |
15: 20
«НЗМП» начал поставки присадки к дизтопливу на «Уфимский НПЗ» и «Уфанефтехим» |
15: 00
«Сибур» увеличил производство полипропилена и эластомеров по итогам 2016 г. |
15: 00
«Акрон» приобретает дистрибуционно-логистический комплекс в Ростовской области |
14: 20
«Метафракс» вложил в охрану окружающей среды в 2016 году более 110 млн рублей |
08: 00
Indorama планирует создать СП в сфере производства формальдегида и меламина в Узбекистане |
08: 00
Назначены новые руководители на Uzkimesanoat и O"zeltexsanoat |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Май 2011: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31