Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 575
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

15: 41
Компания Indorama намерена запустить производство новых видов минеральных удобрений в Узбекистане |
15: 41
На «Танеко» начались пусконаладочные работы на гидроочистке нафты |
15: 41
«Уралкалий» снизил производство хлористого калия на 5,5% по итогам 2016 г. |
15: 21
Проведена модернизация ERP системы ПАО «Нижнекамскнефтехим» |
15: 01
НПП «Заря» разработало два новых промышленных взрывчатых вещества II-го класса |
10: 41
«Беларуськалий» приступил к установке оборудования системы охлаждения мелкокристаллического концентрата |
14: 21
Иран планирует занять азиатский рынок СКС-каучука |
12: 01
Компания «Русское горно-химическое общество» разработала новую продуктовую линейку торговой марки Экопирен® |
16: 41
Компания «Русские краски» разработала новую колеровочную систему PRODECOR |
16: 01
«ОСВ Технология» поставила новое оборудование для нанесения 2К полиуретанового клея |
11: 21
СИБУР и Криогенмаш заключили соглашение о поставках промышленных газов на «ЗапСибНефтехим» |
16: 41
За три года «Уралхимпласт» потратит на охрану окружающей среды свыше 40 млн рублей |
16: 01
На производство фенола-ацетона завода «Омский каучук» пришла первая партия оборудования |
16: 01
Апатитовский фосфогипс будет использоваться в дорожном строительстве |
16: 41
Карбамидный завод в Гарабогазе намерен поставлять значительные объемы экспортной продукции зарубеж |
16: 41
«Беларуськалий» в 2016 году произвел 10 млн тонн удобрений |
15: 21
«ФосАгро» начала строительство аммиакопровода, который соединит Балаковский филиал АО «Апатит» с магистральным аммиакопроводом «Тольятти-Одесса» |
15: 01
Подведены итоги производственной деятельности АО «Танеко» за 2016 год |
14: 21
«Волжский Оргсинтез» получил сертификат соответствия ISO 9001:2008 |
14: 01
Противогололедный реагент Волгоградского «Каустика» на основе природного рассола бишофита прошел успешные испытания на местных дорогах |
14: 01
Украина ввела антидемпинговые пошлины на импорт карбамида и КАС из России на 5 лет |
13: 21
«Линик» планирует возобновить производство метил-трет-бутилового эфира |
11: 41
«Завод Химволокно» запустил производство композиционного материала торговой марки «Гроднамид ПА6-Л-221/321» |
11: 41
Китай планирует выделить 360,7 млрд долл. на развитие возобновляемой энергетики |
11: 21
«Белшина» наращивает реализацию шинной продукции в Украине |
11: 21
На Петриковском ГОКе продолжаются работы по проходке рудничных стволов |
11: 01
Кадровые изменения в составе Совета директоров BASF |
15: 21
Южнокорейская компания Daelim проведет модернизацию НПЗ в иранском Исфахане |
15: 21
Гарлыкский горно-обогатительный комбинат планируют сдать в Туркменистане до 31 марта 2017 года |
15: 21
«Роснефть» и BP завершают процесс расформирования нефтеперерабатывающего СП Ruhr Oel GmbH в Германии |
15: 21
США сняли антидемпинговые пошлины на карбамид и аммиачную селитру из России |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Май 2008: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31