Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 631
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

07: 00
«Аэрозолекс» и Правительство Нижегородской области обсудили меры региональной поддержки проекта строительства производства диметилового эфира |
07: 00
Сейдинский НПЗ наладил экспорт высокооктанового бензина |
07: 00
Узбекистан намерен инвестировать в нефтехимический комплекс Ирана |
07: 00
Энергетические компании обязуются сократить выбросы метана в газовой отрасли |
16: 00
На «Сибур-Химпроме» состоялось открытие строительства производства диоктилтерефталата |
15: 40
«Акрон» наращивает выпуск карбамида на производственной площадке в Великом Новгороде |
15: 00
В Череповце определили приоритетные направления развития Группы «ФосАгро» |
15: 00
Минсельхоз России: на 20 ноября приобретение минеральных удобрений выросло на 9,6% |
15: 00
Партнеры Tikkkurila утилизируют тару из-под краски |
14: 40
Падение темпов объема производства ПАО «Сумихімпром» составило 19,4% по итогам 9 месяцев 2017 г. |
14: 40
«Роснефть» ввела в эксплуатацию новый нефтегазодобывающий кластер в Западной Сибири |
14: 20
«Газпром» и Shell обсудили СПГ проекты |
14: 00
«Уралхим-Транс» получил госсубсидию на приобретение инновационных вагонов |
14: 00
BP заключила партнерское соглашение с AspenTech с целью усовершенствования производственных операций на основе технологических решений |
14: 00
«Архангельский ЦБК» начал полевые работы по оценке энергетического потенциала свалочного газа |
15: 00
Рейтинговое агентство RAEX присвоило АО «Башкирская содовая компания» рейтинг кредитоспособности на уровне ruA+ |
15: 00
Минприроды России предлагает снизить ставку НДПИ для редких металлов до 4,8% |
15: 00
«Антипинский НПЗ» увеличил объем выпуска нафты на 10% по итогам октябре 2017 г. |
14: 40
Финансовые результаты Группы «ЕвроХим» за 9 месяцев 2017 г. по МСФО |
14: 20
На «Павлодарском НХЗ» получена первая партия бензина АИ-92 экологического класса К4 |
16: 40
Рустам Минниханов и президент компании «Хальдор Топсе» обсудили вопросы сотрудничества в нефтегазохимической сфере |
16: 00
«Новочеркасский завод смазочных материалов» подготовил к пуску блок производства масел |
17: 00
Минфин Узбекистана выделит беспроцентную ссуду НПЗ для импорта углеводородного сырья |
16: 20
Группа компаний Rockwool празднует 80 лет производственной деятельности |
16: 20
Группа «ЕвроХим» открывает подразделение в Болгарии |
16: 01
«Карпатнефтехим» вышел на мощность производства по всей линейке продукции на уровень выше 90% |
15: 00
«Гродно Азот» увеличило выпуск продукции в январе-октябре 2017 г. на 8% |
14: 40
«Днепразот» ведёт испытания новой глицериносодержащей добавки PuroTech OG для очистки промышленных сточных вод |
14: 21
«Буйский химический завод» запускает новый фасовочный аппарат |
14: 00
«Беларуськалий» готовит экспериментальное оборудование к запуску на РУ-4 |
13: 40
«Полипак» начал монтаж новой экструзионной линии по производству полиэтиленовых пленок |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003