Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 598
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

08: 40
«Газпром» продолжает разработку и реализацию инновационных проектов |
08: 20
«Уралкалий» подписал соглашение об открытии возобновляемой кредитной линии в размере до 750 млн долл. |
08: 20
На НПП «Заря» прошли совместные учения по пожарной безопасности предприятия |
07: 40
Очистные сооружения в Томской области будут реконструировать с помощью нанотехнологий |
07: 40
Итоги работы компании «Русские краски» за 1 квартал 2017 года |
07: 00
«Лукойл» инвестирует в природоохранные мероприятия в Ямало-Ненецком автономном округе |
07: 00
Росстат: индекс химического производства в России вырос на 7,5% в январе-марте 2017 г. |
07: 00
«Транснефть – Сибирь» ведет строительство новой химико-аналитической лаборатории |
15: 20
КНАУФ прекращает производство кладочных смесей «ЛМ 21» и «Биндер» в России |
15: 00
НПП «Заря» готовится к выпуску взрывчатых веществ нового поколения |
15: 00
На «Химпроме» прошла встреча коллектива с представителями власти |
15: 00
На Объединенном Кировском руднике АО «Апатит» в режиме опытной эксплуатации заработала новейшая система позиционирования и связи |
14: 40
«Сумское НПО» с осени будет производить электричество для «Энергорынка» и генерировать тепло для собственных нужд |
14: 40
АО «Русские краски» успешно прошло очередной аудит интегрированной системы менеджмента |
14: 40
Минпромторг: лакокрасочная отрасль показывает хорошие темпы роста |
14: 20
Научный центр СИБУРа пополнил продуктовый портфель компании новой маркой полипропилена |
15: 20
«Сумское НПО» поставит 6-тонный коленвал для поршневого компрессора «Рустави Азот» |
15: 00
КАО «Азот» получило статус экономического оператора |
09: 40
Socar подписала контракт на строительство битумного завода на Бакинском НПЗ |
08: 00
В Ярославской области построят завод по производству СПГ |
07: 20
В Туркменистане объявлен тендер на строительство второго калийного завода стоимостью 1,4 млрд долл. |
15: 40
Росстат: в марте зафиксирован рост промышленного производства |
15: 40
Nokian Tyres представляет новую гибридную резиновую смесь для бездорожья |
15: 20
СИБУР закрыл сделку по продаже «Уралоргсинтеза» |
15: 00
«Уралхим» и «Завод металлоконструкций» заключили контракт на поставку инновационных хопперов-минераловозов |
13: 00
«Нижнекамскнефтехим» экспортировал более 88% синтетических каучуков в 2016 году |
11: 40
БМЗ «Татнефти» изготовил аппараты воздушного охлаждения для АО «ОХК «Уралхим» |
11: 20
ОТК производств углеводородов и их соединений, синтетических полиэфирных смол «Нижнекамскнефтехима» получил международный аттестат аккредитации |
11: 00
ЕЭК продолжает разработку Программы формирования общих рынков нефти и нефтепродуктов ЕАЭС |
15: 00
«Кольская ГМК» обновила парк электролизных ванн |
15: 00
Новый пусковой комплекс на руднике «Таймырский» позволит добывать богатые руды до 2080 года |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003