Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Химпром > РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

РОСНАНО инвестирует в безмасочную литографию с разрешением до 10 нм

Четверг, 30 августа 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

РОСНАНО и MAPPER Lithography, голландская компания-разработчик систем безмасочной литографии, объявляют о начале инвестиций в производство инновационного литографического оборудования. Общая сумма сделки составляет 80 млн евро, доля РОСНАНО — 40 млн евро. Такую же сумму вкладывают акционеры MAPPER, — инвестиционные компании ADP Industries, Parcom Capital (Parc-IT) и Hoving & Partners, технологические компании Technolution и DEMCON, ряд частных инвесторов и семейных инвестиционных фондов, а также Агентство Нидерландов при министерстве экономики, сельского хозяйства и инноваций. Существенная часть инвестиций РОСНАНО будет направлена на создание в России производства ключевого компонента литографических систем MAPPER.

Компания MAPPER Lithography, основанная в Делфтском техническом университете, разрабатывает литографическое оборудование нового поколения на основе технологии множественных электронных лучей (multiple e-beam), позволяющей обойтись без дорогостоящих литографических масок. Технология MAPPER сочетает ранее практически недостижимую разрешающую способность (22 нм и выше) с высокой производительностью, позволяя обрабатывать до 100 кремниевых подложек в час.

Инвестиции позволят компании MAPPER выпустить несколько поколений оборудования Matrix. Модель Matrix 1.1, намеченная к выпуску в 2012 году, использует более 1300 электронных лучей и обрабатывает одну подложку в час. Модель Matrix 10.1, использующая 13 260 электронных лучей, обладает производительностью 10 подложек в час. Кластерная система Matrix 10.10, состоящая из десяти установок Matrix 10.1, способна обрабатывать 100 подложек в час, что соответствует требованиям массового производства микросхем. В рамках инвестиционного проекта производственные мощности MAPPER будут расширены до 20 литографических машин в год.

В России планируется создать предприятие по выпуску электронной оптики на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) — ключевого компонента оборудования MAPPER. Производство требует использования уникальных технологий в области МЭМС. Мощность российского предприятия составит до 20 систем электронной оптики в год, каждая из которых способна управлять 13 260 параллельными электронными лучами. Проект ориентирован на сотрудничество с ведущими российскими профильными исследовательскими институтами.

«Поддержка, которую мы получили в этом раунде финансирования, отражает наши успехи в инновационной технологии электронно-лучевой литографии, которую мы развивали последние десять лет. Сегодня мы готовы представить наш продукт на рынок, и гордимся, что РОСНАНО решила поддержать этот масштабный проект», — отметил CEO и сооснователь компании MAPPER Берт Ян Камфербеек.

«Проект с MAPPER Lithography занимает особое место в портфеле РОСНАНО. Разработки компании находятся в самом начале цепочки создания стоимости в микроэлектронике. Мы уверены, что инвестиции в эту компанию укрепят синергию микроэлектронных проектов РОСНАНО», — подчеркнул управляющий директор РОСНАНО Дмитрий Лисенков.

Для продвижения безмасочной литографии на базе платформы MAPPER развернута международная производственно-исследовательская программа IMAGINE, которую координирует ведущий мировой институт по прикладным исследованиям в микроэлектронике CEA-Leti. Основными участниками являются крупные производители микроэлектроники — TSMC (Тайвань) и STMicroelectronics (Франция). В середине 2009 года в чистых комнатах CEA-Leti был установлен промышленный прототип установки MAPPER.

В начале 2012 года в рамках программы IMAGINE компания MAPPER достигла размерности элементов 22 нм, что соответствует следующим технологическим стандартам в микроэлектронике — 14 нм и 10 нм. В этом году CEA-Leti и MAPPER объявили о продлении программы IMAGINE на три года. В течение этого времени в CEA-Leti будет установлено опытное оборудование Matrix, на котором ведущие мировые производители микроэлектроники смогут опробовать безмасочную технологию в реальной производственной обстановке.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 604
Рубрика: Химпром
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

11: 20
Прошло открытие первого завода Bridgestone на территории России |
08: 20
Китай впервые экспортировал жидкий бутандиол в Европу по железной дороге |
16: 40
Совет директоров ПАО «Нижнекамскнефтехим» избрал правление |
16: 40
Правительство Беларуси планируется вложить Br17,5 млрд в развитие машиностроительного комплекса до 2030 года |
16: 20
Волгоградский «Каустик» назван лучшей организацией региона в сфере внешнеэкономической деятельности |
16: 20
«Карпатнафтохим» запустит мощности в июне после пятилетнего простоя |
17: 40
«Сумихімпром» снижает объемы производства выпускаемой продукции |
17: 40
Иран привлекает европейские инвестиции для строительства нового нефтехимического завода |
07: 00
«ВПК-Ойл» запущено новое производство битума в Новосибирской области |
16: 20
В апреле «ЗапСибНефтехим» заключил 50 контрактов на поставку стройматериалов с отечественными предприятиями из 17 регионов России |
16: 20
Компания Nokian Tyres укрепила лидерские позиции на российском шинном рынке |
09: 40
«Гомельхимторг» запустит производство антифриза на основе глицерина |
09: 40
Украина в разы снизила импортные поставки белорусского ПЭВД |
18: 40
В России выросло производство полиамида-6 по итогам 2016 г. |
14: 00
На заводе «Омский каучук» появилось новое диагностическое оборудование |
15: 40
Bridgestone проведет торжественную церемонию открытия своего завода по производству шин в России в ближайшие дни |
13: 20
«Лукойл» подписал соглашение о сотрудничестве с правительством Калининградской области |
17: 20
На Восточном руднике АО «Апатит» запущен в эксплуатацию бетонно-смесительный узел |
16: 40
Проект строительства новой установки аммиака на ОАО «Тольяттиазот» прошел общественные слушания |
16: 40
EBITDA «ФосАгро» в 1 квартале 2017 г. составила 12,7 млрд рублей |
13: 00
«Полиом» продолжает реализацию экологических мероприятий |
15: 40
Creon Energy: потребление каустической соды в РФ в текущем году может выйти на уровень 2006 г. |
15: 40
ООО СП «Граниферт» с участием ПАО «КуйбышевАзот» стало новым резидентом ТОР «Тольятти» |
15: 40
Навоийский горно-металлургический комбинат построит комплекс по переработке 15 млн тонн техногенных отходов |
15: 40
Опытный образец камеры йодного фильтра, созданный сумскими машиностроителями, одобрен немецкой компанией Krantz |
15: 20
Компания «Газпром нефтехим Салават» отгрузила свыше 57 тысяч тонн минеральных удобрений аграриям Башкирии |
14: 20
Lanxess назначил Стивена Форсайта новым членом Совета директоров |
09: 20
Производственные показатели АО «Танеко» за апрель и четыре месяца 2017 года |
07: 20
Henkel сообщает о высоких показателях работы в первом квартале 2017 г. |
08: 00
Узбекистан приступил к строительству нового НПЗ в Джизакской области |
08: 00
«Роснефть» возобновила поставку на Украину сжиженного газа |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003