Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > EWL: новая литографическая надежда или несбыточная мечта?

EWL: новая литографическая надежда или несбыточная мечта?

Понедельник, 13 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

В минувшем месяце, когда Intel объявляла об успешном создании прототипа SRAM с соблюдением норм 0,45-нм техпроцесса, на поверхность всплыла очень важная деталь – микропроцессорный гигант по-прежнему использует "сухую" 193-нм литографию, отказываясь от иммерсии. Более того, подобно тому, как несколько лет назад Intel поставила крест на 157-нм литографии, компания готова отказаться и от иммерсионной технологии, готовясь к 2009 году начать внедрение EUV-литографии, где подразумевается использование источников жесткого ультрафиолетового излучения.

В качестве еще одной возможной альтернативы EUVL, кроме импринт-литографии, может выступить EWL (литография с использованием исчезающее малых величин излучения), исследование которой ведется в Калифорнийском Технологическом Институте, Университете Калифорнии в Беркли и других научно-исследовательских группах. Некоторые еще называют EWL, работающую в ближнепольной зоне, "контактной литографией".

Как ожидается, в ходе посвященной микролитографии конференции SPIE, которая пройдет с 19 по 24 февраля, Рочестерский Технологический Институт (RIT) представит результаты работы, в ходе которой при помощи EWL удалось создать рисунок размером 26 нм. Как сообщают сотрудники RIT, это существенно лучше, чем удалось добиться в Калифорнийском Технологическом и в Беркли. Но самое главное – RIT сумела создать изображение без контакта с подложкой (до сих пор EWL подразумевала создание исчезающее малых полей под контактной маской), что позволяет рассматривать технологию как дальнейшее расширение оптической литографии. Изображение от последнего элемента оптической системы проецируется на подложку через среду с показателем преломления ниже, чем численное значение апертуры системы построения изображения. Причем численное значение апертуры достигло 1,85, что почти в два раза больше, чем у коммерчески доступных иммерсионных сканеров. Таким образом, иерархия оптических литографических технологий может быть выстроена следующим образом: обычная литография – иммерсионная литография (численное значение апертуры от 1 до 1,65 – предельного теоретического значения) – EWL (численное значение апертуры более 1,65).

Однако, несмотря на перспективность новой технологии в техническом плане, есть определенные сомнения в ее применимости в экономическом плане – крупнейший покупатель литографического оборудования, по сути, отказался приобретать как 157-нм, так и 193-нм иммерсионные инструменты. Без сомнения, разработчики литографических инструментов найдут себе покупателей, в частности, IBM и AMD, однако, в случае с EWL ситуация может стать еще более пикантной – в разработке RIT используются оптические элементы из сапфира (показатель преломления на длине волны 193 нм - 1,92), что вполне нормально для лабораторного устройства, но вряд ли будет хорошо для промышленности.

Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 338
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

18: 01
В мире продолжает увеличиваться количество смертей из-за селфи |
18: 01
Цены на SSD в этом квартале вырастут на 6-10%, поскольку спрос на флэш-память NAND превышает предложение |
17: 41
Смартфоны Samsung Galaxy A (2016) получат обновление до Android 7.0 Nougat |
17: 41
Сегодня бесплатно: 5 приложений со скидкой 100% |
17: 41
Робот Atlas научился ходить по завалам |
17: 41
Искусственный интеллект пишет рождественские гимны |
15: 01
Можно ли выбраться из горящего леса на автомобиле? |
15: 01
Портативная Тесла-пушка: испытание в slow-mo |
15: 01
Загорелся очередной смартфон Apple iPhone 6 Plus |
15: 01
99% поддельных зарядок из онлайн-магазинов небезопасны |
15: 01
Минкомсвязи разослало операторам связи инструкции на случай кибератак |
15: 01
Как очистить свою команду от скверны: гайдбук инквизитора |
14: 41
В бытовой технике Whirlpool появилась поддержка сервиса IFTTT |
14: 21
Intel, McDonald’s, Mentos, Gillette: как рождались самые узнаваемые рекламные джинглы |
14: 21
Qualcomm и Samsung презентовали самый мощный процессор Snapdragon |
14: 21
По прогнозу IDC, рынок планшетов вернется к росту в 2018 году |
14: 01
Motorola добавила новые Moto Mod с аккумулятором Mophie и доком для авто |
13: 41
В Москве пройдёт Science Slam |
13: 21
Nvidia готовит к выпуску вариант 3D-карты GeForce GTX 1060 с GPU GP104 и 3 ГБ памяти |
13: 21
Уникальное приложение поможет женщинам примерить виртуальную увеличенную грудь |
13: 01
Россияне стали покупать меньше планшетов |
13: 01
На Яндекс.Картах появились панорамы Третьяковской галереи |
12: 41
Представлен новый трейлер Mass Effect: Andromeda |
12: 41
Final Fantasy XV побила рекорд серии по стартовым продажам |
12: 41
Lenovo не видит смысла выпускать новые умные часы Moto 360 либо какое-то иное подобное устройство в ближайшем будущем |
12: 41
Объектив Tamron 18-200mm F/3.5-6.3 Di III VC (Model B011) выключает камеру Canon EOS M5 |
12: 41
Белый дом выпустил приложение 1600, которое использует дополненную реальность |
12: 41
Motorola временно свернула производство «умных» часов |
12: 41
Как правильно сушить кузов автомобиля |
12: 41
СМИ узнали о возможном переносе запуска следующего корабля «Прогресс» |
12: 41
Инновации, калькуляторы и семейный бизнес — биография предпринимателя Тадао Касио |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Сентябрь 2003: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30