Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > EWL: новая литографическая надежда или несбыточная мечта?

EWL: новая литографическая надежда или несбыточная мечта?

Понедельник, 13 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

В минувшем месяце, когда Intel объявляла об успешном создании прототипа SRAM с соблюдением норм 0,45-нм техпроцесса, на поверхность всплыла очень важная деталь – микропроцессорный гигант по-прежнему использует "сухую" 193-нм литографию, отказываясь от иммерсии. Более того, подобно тому, как несколько лет назад Intel поставила крест на 157-нм литографии, компания готова отказаться и от иммерсионной технологии, готовясь к 2009 году начать внедрение EUV-литографии, где подразумевается использование источников жесткого ультрафиолетового излучения.

В качестве еще одной возможной альтернативы EUVL, кроме импринт-литографии, может выступить EWL (литография с использованием исчезающее малых величин излучения), исследование которой ведется в Калифорнийском Технологическом Институте, Университете Калифорнии в Беркли и других научно-исследовательских группах. Некоторые еще называют EWL, работающую в ближнепольной зоне, "контактной литографией".

Как ожидается, в ходе посвященной микролитографии конференции SPIE, которая пройдет с 19 по 24 февраля, Рочестерский Технологический Институт (RIT) представит результаты работы, в ходе которой при помощи EWL удалось создать рисунок размером 26 нм. Как сообщают сотрудники RIT, это существенно лучше, чем удалось добиться в Калифорнийском Технологическом и в Беркли. Но самое главное – RIT сумела создать изображение без контакта с подложкой (до сих пор EWL подразумевала создание исчезающее малых полей под контактной маской), что позволяет рассматривать технологию как дальнейшее расширение оптической литографии. Изображение от последнего элемента оптической системы проецируется на подложку через среду с показателем преломления ниже, чем численное значение апертуры системы построения изображения. Причем численное значение апертуры достигло 1,85, что почти в два раза больше, чем у коммерчески доступных иммерсионных сканеров. Таким образом, иерархия оптических литографических технологий может быть выстроена следующим образом: обычная литография – иммерсионная литография (численное значение апертуры от 1 до 1,65 – предельного теоретического значения) – EWL (численное значение апертуры более 1,65).

Однако, несмотря на перспективность новой технологии в техническом плане, есть определенные сомнения в ее применимости в экономическом плане – крупнейший покупатель литографического оборудования, по сути, отказался приобретать как 157-нм, так и 193-нм иммерсионные инструменты. Без сомнения, разработчики литографических инструментов найдут себе покупателей, в частности, IBM и AMD, однако, в случае с EWL ситуация может стать еще более пикантной – в разработке RIT используются оптические элементы из сапфира (показатель преломления на длине волны 193 нм - 1,92), что вполне нормально для лабораторного устройства, но вряд ли будет хорошо для промышленности.

Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 358
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

16: 40
Doogee S60 - телефон, сделанный для очень мужественных мужчин |
16: 40
Проверил Яндекс.Карты с дополненной реальностью. Работают! |
16: 20
Новая версия видеокарты EVGA GTX 1080 Ti FTW3 Elite получила память с частотой 12 ГГц |
16: 20
Специалисты DxOMark назвали iPhone 8 Plus лучшим камерофоном всех времен, оценив его в 94/100 |
16: 20
Видеообзор: Лучшие смартфоны 2017 года |
16: 20
Volvo предлагает менять автомобиль каждые два года |
16: 00
Рокетбанк дарит iPhone 8 на 64 ГБ. Как получить? |
15: 20
Opera первым среди браузеров поддерживает видео с углом обзора 360 градусов |
15: 20
Мошенники нашли новый способ вымогать деньги с владельцев Mac |
15: 20
Как изготавливают промышленные подшипники: видео для техноманов |
15: 00
Разработан искусственный аналог присоски рыбы-прилипалы |
14: 40
iPhone 8 разобрали и изучили |
14: 40
Admitad Invest вложил ещё 100 млн рублей в российский сервис по продвижению брендов с помощью блогеров Epicstars |
14: 00
Власти Лондона отказались продлить лицензию Uber на перевозку пассажиров |
13: 20
Украинцы просят Apple извиниться за рекламу с русским «киборгом» |
13: 00
Intel зачем-то готовит двухъядерный CPU Core i3-7360X в исполнении LGA 2066 |
13: 00
«Яндекс» выпустил серию роликов о технологиях компании в честь своего 20-летия |
12: 40
AdBlock Plus не позволит сайтам добывать криптовалюты за счёт пользователей |
12: 40
Предзаказ на iPhone 8 и iPhone 8 Plus стартовал в России |
12: 40
Вирус одолел 700 000 компьютеров через приложение CCleaner. В списке взломанных компаний Samsung, Google, Microsoft и другие гиганты рынка |
12: 40
В пещере на востоке Туркменистана нашли неизвестное науке животное |
12: 40
«Баттл по фактам»: «Телеграф» опубликовал документы о работе Антона Розенберга |
12: 20
Видеокарта MSI GeForce GTX 1080 Ti Gaming X Trio по габаритам не будет уступать модели Lightning Z |
12: 20
10 км без парашюта: что делать, если вы выпали из самолёта |
12: 20
Новые лицензии для открытого кода: LIL и Zero |
12: 00
Американский фитнес-стартап задолжал пользователям $1 млн за диеты и походы в спортзал |
11: 20
EVGA представила видеокарту GeForce GTX 1080 Ti FTW3 Elite с частотой VRAM 12 ГГц |
11: 00
Razer подтвердила факт разработки мобильного игрового устройства, которое представят в этом году |
10: 20
Apple перечислила $1 млн в помощь пострадавшим от землетрясения в Мексике |
10: 20
В России начались официальные продажи Galaxy Note 8 |
10: 20
Зарядка AirPower не заработает с Apple Watch 1-го поколения |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003