Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > EWL: новая литографическая надежда или несбыточная мечта?

EWL: новая литографическая надежда или несбыточная мечта?

Понедельник, 13 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

В минувшем месяце, когда Intel объявляла об успешном создании прототипа SRAM с соблюдением норм 0,45-нм техпроцесса, на поверхность всплыла очень важная деталь – микропроцессорный гигант по-прежнему использует "сухую" 193-нм литографию, отказываясь от иммерсии. Более того, подобно тому, как несколько лет назад Intel поставила крест на 157-нм литографии, компания готова отказаться и от иммерсионной технологии, готовясь к 2009 году начать внедрение EUV-литографии, где подразумевается использование источников жесткого ультрафиолетового излучения.

В качестве еще одной возможной альтернативы EUVL, кроме импринт-литографии, может выступить EWL (литография с использованием исчезающее малых величин излучения), исследование которой ведется в Калифорнийском Технологическом Институте, Университете Калифорнии в Беркли и других научно-исследовательских группах. Некоторые еще называют EWL, работающую в ближнепольной зоне, "контактной литографией".

Как ожидается, в ходе посвященной микролитографии конференции SPIE, которая пройдет с 19 по 24 февраля, Рочестерский Технологический Институт (RIT) представит результаты работы, в ходе которой при помощи EWL удалось создать рисунок размером 26 нм. Как сообщают сотрудники RIT, это существенно лучше, чем удалось добиться в Калифорнийском Технологическом и в Беркли. Но самое главное – RIT сумела создать изображение без контакта с подложкой (до сих пор EWL подразумевала создание исчезающее малых полей под контактной маской), что позволяет рассматривать технологию как дальнейшее расширение оптической литографии. Изображение от последнего элемента оптической системы проецируется на подложку через среду с показателем преломления ниже, чем численное значение апертуры системы построения изображения. Причем численное значение апертуры достигло 1,85, что почти в два раза больше, чем у коммерчески доступных иммерсионных сканеров. Таким образом, иерархия оптических литографических технологий может быть выстроена следующим образом: обычная литография – иммерсионная литография (численное значение апертуры от 1 до 1,65 – предельного теоретического значения) – EWL (численное значение апертуры более 1,65).

Однако, несмотря на перспективность новой технологии в техническом плане, есть определенные сомнения в ее применимости в экономическом плане – крупнейший покупатель литографического оборудования, по сути, отказался приобретать как 157-нм, так и 193-нм иммерсионные инструменты. Без сомнения, разработчики литографических инструментов найдут себе покупателей, в частности, IBM и AMD, однако, в случае с EWL ситуация может стать еще более пикантной – в разработке RIT используются оптические элементы из сапфира (показатель преломления на длине волны 193 нм - 1,92), что вполне нормально для лабораторного устройства, но вряд ли будет хорошо для промышленности.

Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 353
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

18: 40
В космосе гораздо больше гигантских комет, чем мы думали |
18: 40
«Яндекс.Деньги» объявили набор в бесплатную школу для фронтенд-разработчиков в Петербурге |
17: 40
В Крыму нашли странное детское погребение |
17: 20
Apple придумала виртуальный тач-скрин для взаимодействия со смарт-очками |
17: 20
Как и чем сделать квадратное отверстие |
17: 20
Основатель Amazon Джефф Безос стал самым богатым человеком в мире |
16: 40
Камера Nikon D850 получит гибридный видоискатель и позволит делать ролики 8К |
16: 00
iPhone 8 выйдет только в чёрном и серебристом цветах |
15: 40
Третий том учебника А. В. Столярова |
15: 40
Демо-формат – лучшая тренировка перед игрой за джек-пот |
15: 20
Смартфон Lenovo K8 Note оснащен SoC Helio X20 и 4 ГБ ОЗУ |
15: 00
Три необычные оптические иллюзии: как нас обманывает наше восприятие |
15: 00
Представлены наушники Meizu Flow стоимостью $89 |
15: 00
iPhone 8 появится в октябре-ноября со сканером радужки |
15: 00
Google объединит подписки на стриминговые сервисы Play Music и YouTube Red |
15: 00
Профессиональный защищенный смартфон Nomu T18 получит выносную камеру |
15: 00
Microsoft расширила программу поиска багов в Windows |
15: 00
Бесплатный топ: 5 приложений сделают iPhone полезнее |
15: 00
GTA запустили на российском компьютере «Эльбрус» |
15: 00
Смартфон Samsung Galaxy Note 8 Emperor Edition получит 6 ГБ ОЗУ и 256 ГБ флэш-памяти |
15: 00
Xiaomi, Oppo, Vivo, Lenovo и Gionee заняли более 50% индийского рынка смартфонов |
15: 00
Не та кнопка: как провалить испытания ракеты на несколько миллионов долларов |
15: 00
Владелец дизайн-завода «Флакон» приобрёл долю в сервисе доставки корма для животных «Шерстакович» |
15: 00
Финансовые показатели LG во втором квартале улучшились, хотя смартфон LG G6 не выполнил план по продажам |
15: 00
Африканский меч для ритуальных убийств в действии |
10: 40
Названа бесплатная подборка игр для подписчиков PS Plus в августе |
10: 40
Актер, сыгравший Дарта Вейдера в «Изгой-один», может появиться в фильме о Хане Соло |
10: 40
Nintendo выпустила на рынок 4,7 млн консолей Switch |
10: 40
Представлен новый трейлер Need for Speed Payback |
10: 00
Продажи Samsung Galaxy S8+ с 6 ГБ ОЗУ и 128 ГБ флэш-памяти начались за пределами азиатского континента |
10: 00
Будильник айфона подставил меня. Зато нашёл замену |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Июнь 2011: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30