Carl Zeiss получила два заказа на оборудование для литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне

Понедельник, 30 апреля 2012 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

По сообщению компании Carl Zeiss, она получила заказы от двух из четырех членов альянса SEMATECH EMI Partnership на системы дефектоскопического контроля AIMS EUV. Эти системы предназначены для работы с масками для литографии в жестком ультрафиолетовом диапазоне (extreme ultraviolet lithography, EUVL).

Какие именно компании заказали оборудование, предназначенное для перспективных техпроцессов, неизвестно. Однако известно, что членами SEMATECH EMI Partnership являются компании GLOBALFOUNDRIES, Intel, Samsung Electronics и TSMC. Напомним такде, что в феврале прошлого года была отгружена первая в мире предсерийная установка для EUVL, причем заказчиком считается Samsung Electronics .

В разработке вышеупомянутой системы контроля наряду со специалистами подразделения Carl Zeiss Semiconductor Metrology Systems Division принимали участие их коллеги из других отделений Carl Zeiss, а также сотрудники компаний-партнеров Carl Zeiss SMT.

Такое, казалось бы, узкоспециализированное сообщение на самом деле представляет интерес для всех, кто следит за развитием технологий в полупроводниковой отрасли. Дело в том, что с технологией EUVL связаны надежды на дельнейшее уменьшение норм техпроцесса. Заказывая системы контроля масок, основные участники отрасли фактически подтверждают свой выбор в пользу технологии EUVL. Следует уточнить, что очередность размещения заказов была оговорена при формировании консорциума EMI, так что два оставшихся его участника со временем тоже получат системы AIMS EUV в свое распоряжение.

По словам Carl Zeiss, используя AIMS EUV, производители получат возможность разрабатывать и изготавливать свободные от дефектов маски для EUVL, рассчитанные на нормы 16 нм. Первая версия системы, предназначенная для использования в серийном производстве, будет отгружена в третьем квартале 2014 года.

Источник: Carl Zeiss #vk

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 539
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2018, 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Сентябрь 2017: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30
Rating@Mail.ru