И вновь о нормах 32 нм…

Среда, 22 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

В ходе конференции SPIE Microlithography японская корпорация Nikon сообщила, что готова предоставить оборудование для производства микросхем с соблюдением норм 0,13-мкм техпроцесса. Образцом такого оборудования стал иммерсионный сканер NSR-S610C, использующий источник света с длиной волны 193 нм и обладающим численным значением апертуры (NA) 1,30. Как ожидается, официально NSR-S610C будет представлен чуть позже, в ходе конференции Semicon West.

Новый сканер также использует многоосевую катадиоптрическую оптическую схему, содержащую три отражающих элемента. Инструмент предназначен для производства микросхем памяти по нормам 45 нм и логических ИС по нормам 32 нм, поставки должны будут начаться в четвертом квартале 2006 года.

NSR-S610C построен по принципу, схожему с NSR-S609B (NA – 1,07). Представленный летом прошлого года, NSR-S609B предназначен для массового производства 55-нм чипов памяти и прототипов 45-нм ИС. Сообщается также, что первым покупателем инструмента стала корпорация Toshiba. NSR-S609B стал первым инструментом Nikon, в котором были использованы технологии Local Fill (локальное заполнение жидкостью, снижающее количество воздушных пузырьков) и Tandem Stage (двух-этапная схема для ускорения обработки пластин).

В то же время, конкурент Nikon, голландская компания ASML, готовится в ближайшее время начать поставки Twinscan XT:1700i, также предназначенного для производства с соблюдением норм 45-нм процесса. Сканер ASML использует катадиоптрическую оптическую схему с NA 1,2 и поляризованный источник света. За этот год ASML планирует продать от 20 до 25 систем Twinscan XT:1700i.

Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 696
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2018, 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Rating@Mail.ru