Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Вторник, 21 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.
Дело в том, что в отрасли пока нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока выбор обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.
По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.
Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.
Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.
Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.
Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 396
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

18: 20
Производитель называет Alphacool Eisbaer 420 самой большой готовой системой жидкостного охлаждения |
18: 20
AMD выпустила драйвера для ускорения майнинга (и на этом закрыла тему) |
18: 20
Идеальный смартфон для лета: Samsung рассказала об «отпускных» фишках Galaxy S8 |
18: 20
Под веществами: как экстази влияет на мозг |
18: 00
На Synthposium покажут премьеру документальных фильмов про синтезаторы |
18: 00
Fakelist — сервис для борьбы с контрафактом в рунете |
18: 00
Профессиональный подбор недвижимости для посуточной аренды |
18: 00
Купить Айфон 7 в интернете по отличной цене |
18: 00
Четыре смартфона ASUS Zenfone 4 показались на пресс-рендерах |
13: 20
Qt 4 не войдёт в состав Debian 10 |
13: 20
Apple может создать свой сериал, который сможет составить конкуренцию Game of Thrones |
13: 00
Solus 3 |
13: 00
Опубликовано изображение смартфона Samsung Galaxy Note 8 в цвете Deep Sea Blue |
12: 40
Xiaomi представит свою технологию трехмерного распознавания лиц в четвертом квартале 2017 |
12: 40
Персеиды-2017: как успеть посмотреть на звездопад |
12: 40
Apple тестирует собственный OLED телевизор (секретные фото) |
12: 40
Как встают на якорь гигантские суда: видео-экскурсия |
12: 40
Акционер Gett оценил российский бизнес сервиса в $700 млн |
12: 00
Линейка смартфонов Asus Zenfone 4 показана во всех цветах на официальных изображениях |
11: 40
Вопрос читателям: Куда инвестировать миллион рублей |
11: 40
Велосипед Xiaomi Mi Qicycle Mountain Bike стоит 300 долларов |
11: 00
Основной камере Samsung Galaxy Note 8 приписывают датчики изображения разрешением 12 и 13 Мп |
11: 00
Гарнитура Lenovo с поддержкой Google Daydream будет называться Mirage |
11: 00
Компания Electronic Arts распродает игры в рамках акции «Хиты за Полцены» |
11: 00
В Индии арестовали подозреваемых в сливе одной из серий 7 сезона «Игры Престолов» |
11: 00
Agents of Mayhem получает оценки |
11: 00
Нашёл 4 способа защитить свой iPhone (+1 спортивный) |
10: 40
По мотивам онлайн игры The Secret World снимут телесериал |
10: 20
Видеокарты Radeon RX Vega 64 могут существенно подорожать уже в ближайшее время |
10: 20
POLED vs AMOLED – в чем разница? |
10: 20
«Альфа банк» назвал доклад о проблемах в четырёх банках из топ-15 частным мнением менеджера |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Февраль 2017: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28