Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Вторник, 21 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.
Дело в том, что в отрасли пока нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока выбор обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.
По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.
Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.
Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.
Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.
Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 375
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

12: 01
Акционеры Harman подали в суд на компанию из-за сделки с Samsung |
12: 01
Nintendo Switch раскупили по предзаказам в GameStop |
12: 01
Стоимость SSD A400 от Kingston начинается с 50 долларов |
11: 41
На Венере обнаружили гигантскую гидродинамическую волну |
11: 21
В Сеть попали рендеры Google Pixel 2 |
11: 21
Библиотека Sodium Compat поможет реализовать верификацию обновлений в WordPress |
11: 21
Состоялся официальный анонс видеокарты Gigabyte GeForce GTX 1080 серии AORUS |
11: 01
Смартфон Xiaomi Mix Evo получит SoC Snapdragon 835 |
11: 01
Amazon впервые вошёл в десятку крупнейших мировых ритейлеров по версии Deloitte |
10: 41
Панорамы года |
10: 41
В этом году MacBook станет по-настоящему Pro |
10: 41
200 000 бенгальских огней горят одновременно: новый рекорд |
10: 41
Suminoe Flying Feather FF-2: автомобиль легче пёрышка |
10: 01
Самый редкий в мире гиперкар |
10: 01
Ушел из жизни последний человек, побывавший на Луне |
10: 01
Tabula Sense — «умный» рабочий стол от российских разработчиков |
10: 01
Крупные частные операторы экспресс-доставки DPD и SPSR Express договорились о слиянии |
10: 01
Чем заняться основателю проекта, пока разработчики пишут код |
10: 01
Microsoft запатентовала смартфон со сгибающимся дисплеем |
09: 41
Системная плата Biostar Racing Z270GT8 получила слоты U.2 и M.2 для скоростных SSD |
18: 41
Звуки замерзшего озера: необычное природное явление |
18: 41
Первые шаги Тома Песке в открытом космосе |
18: 21
За SSD A400 объёмом 480 ГБ компания Kingston просит $140 |
18: 21
Роскомнадзор изменит правила блокировки сайтов |
18: 21
Скидка 100%: 5 временно бесплатных приложений |
18: 21
Lenovo поделилась исходным кодом ядра Moto Z |
18: 01
Южнокорейская прокуратура выдала ордер на арест фактического главы Samsung |
18: 01
Из телевизора в интернет: как тысячи россиян получили «сигалограммы» от Стивена Сигала |
17: 41
«Первый канал» через суд потребовал заблокировать попавшую в интернет до премьеры серию «Шерлока» |
17: 21
В 2017 году сохранится дефицит некоторых компонентов для смартфонов |
14: 41
Французская Essilor купит производителя очков Ray-Ban за $24 млрд |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003