Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Вторник, 21 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.
Дело в том, что в отрасли пока нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока выбор обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.
По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.
Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.
Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.
Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.
Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 390
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

16: 40
Дуров ответил на обращение Роскомнадзора по поводу потенциальной блокировки Telegram |
16: 20
В США решили создать корпус космодесантников |
15: 00
10 самых умных животных |
15: 00
«Паша, открывай – это Роскомнадзор» или как на Руси Telegram «брали» |
15: 00
В чикагском Apple Store крышу сделали из огромного MacBook |
15: 00
Разведка ископаемых оставляет в океане двухкилометровые мёртвые зоны |
15: 00
Модный дом Podium Market прекратил работу и передал часть магазинов владельцам Stockmann |
14: 40
Стоит ли доверять онлайн-казино с играми от IGT |
14: 40
Названы цены объективов Sigma 24-70mm F2.8 DG HSM OS Art и Sigma 14mm F1.8 DG HSM Art, начат прием предварительных |
14: 40
«OnePlus 5, тьфу на тебя еще раз!»: устаревший дисплей, странная камера |
13: 00
Видели такой гибрид PS4 и Xbox One? Да, это необычная игровая Xstation |
12: 40
Расширенные настройки фильтрации в Вебмастере |
12: 40
Первое видео из кабины гоночного беспилотника |
12: 20
digiKam 5.6 |
12: 00
Bloomberg: Airbnb запустит премиум-сервис аренды жилья для конкуренции с отелями |
11: 20
Ubuntu переходит на формат сетевой конфигурации netplan |
11: 00
Золотой Elephone S8 показался на видео |
11: 00
Виртуальная реальность с VR180: совсем как в жизни |
10: 40
Картошку превратили в электронного питомца на колесах |
10: 40
В Steam стартовала масштабная летняя распродажа |
10: 40
Фестиваль «Битва тысячи мечей. Рагнарёк»: 15 июля в Коломенском |
10: 40
Kodak при поддержке Archos выпускает фирменные планшеты формата 7 и 10 дюймов |
10: 40
В Солнечной системе может существовать еще одна планета вроде Марса |
10: 40
Назван сайт, который привел к блокировке Google |
10: 40
Стало известно название следующего фильма во вселенной «Парка Юрского Периода» |
10: 20
Представлено новое видео Hellblade: Senua"s Sacrifice |
10: 20
Появилась первая демонстрация Beyond Good & Evil 2 на движке |
10: 20
В Google не одобряют скорости, на которых работает OnePlus 5 |
10: 20
В России узнали состав биотоплива из водорослей |
10: 20
Неудачная парковка вертолёта: винт крушит дом |
10: 20
За первый месяц в России было продано почти 56 тысяч Samsung Galaxy S8 |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Январь 2011: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31