Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Вторник, 21 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.
Дело в том, что в отрасли пока нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока выбор обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.
По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.
Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.
Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.
Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.
Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 378
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

07: 00
Анонсирован непривязанный джейлбрейк для iOS 10.3 |
16: 20
Rust 1.16 |
16: 00
В Китае нашли "мухоморы" мелового периода |
16: 00
Российский Uber начал показывать цвет машины |
15: 40
Пользователи домашнего помощника Google Home пожаловались на аудиорекламу |
15: 40
Появились первые изображения 3D-карты AMD Radeon RX Vega |
15: 40
Внутреннее соединение Infinity Fabric в процессоре AMD Ryzen работает на частоте памяти |
15: 00
Как упорство позволило совместить увлечение всей жизни с программированием — Разработчик Игорь Гриценко о создании просмотрщика файлов в формате Sketch |
14: 40
«Одноклассники» сделают просмотр видео платным |
14: 40
10 самых крутых автомобилей из фильма "Безумный Макс: Дорога ярости" |
14: 40
Американцы показали секретные ядерные испытания |
14: 40
Учёные научились находить клетки, где прячется ВИЧ |
14: 20
Выключите уже эту вспышку! |
14: 20
Зацените новейший iPhone в ретро-стиле |
14: 20
Samsung Galaxy S8 с 6 ГБ ОЗУ выйдет только в Китае |
14: 20
Samsung Galaxy Note 5 начал обновляться до Android 7.0 Nougat |
14: 20
Приснится же |
14: 20
Артемий Лебедев создал дизайн кроссовок для конкурса Nike |
14: 00
Mail.Ru Group договорилась с «дочкой» Alibaba о совместном распространении мобильных игр |
13: 40
Разнообразие игровых слотов в онлайне |
13: 40
Денежные ставки в интернете |
13: 40
Лучшие слоты от проверенных создателей |
13: 40
Евросеть разваливается |
13: 40
Это обзор отвёртки Xiaomi WOWStick 1FS. Отвертка. От Xiaomi. |
13: 00
Blizzard хочет оштрафовать разработчика читов на $8,5 млн |
13: 00
ФРИИ проинвестирует 15 млн рублей в сервис по поиску нянь KidsWay |
12: 40
Sony прекращает производство консоли PS3 |
12: 40
Новая модель камеры Samsung Gear 360 появилась в базе данных FCC |
12: 40
Apple подняла цены на музыку в iTunes в России |
12: 40
ColorWare создала винтажный iPhone 7 Plus Retro Edition за 1899 долларов |
12: 40
Apple построит два дополнительных центра исследований и разработок в Китае |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003

Январь 2012: 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 26 27 28 29 30 31