Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Вторник, 21 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.
Дело в том, что в отрасли пока нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока выбор обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.
По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.
Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.
Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.
Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.
Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 387
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

18: 40
Goldenrod: великий рекордсмен, который опоздал |
18: 40
Google объявила о запуске Android Pay в России |
18: 40
Экс-сотрудник Google рассказал подробности о работе подразделения по предотвращению утечек внутри компании |
18: 20
Временно бесплатные: 5 приложений, которые неожиданно обесценились |
18: 20
Космонавты NASA планируют экстренный выход за пределы МКС |
16: 00
5 шагов, которые помогут быстро запустить А/В-тестирование |
15: 20
Рынок ноутбуков вырос в годовом выражении на 6,1% |
15: 20
OUKITEL позволяет купить K10000 Pro за полцены |
15: 20
Появились новые фотографии iPhone 8. Touch ID может оказаться сзади |
15: 20
Первый в мире робот-полицейский приступил к работе |
15: 00
Научно-исследовательский центр CSNE разработает мозговой имплантат на основе архитектуры ARM |
14: 40
Like Like — сервис по вызову специалистов из сферы красоты на дом или в офис |
13: 40
Цифра дня: Сколько смартфонов заразили задержанные МВД хакеры? |
13: 40
Пепел камчатского вулкана нашли на Шпицбергене |
12: 40
Bloomberg: место генерального директора Ford займет руководитель направления беспилотных автомобилей |
11: 40
Россия и США будут являться одними из основных рынков для Android Go |
11: 40
Бесплатный пробный период теперь недоступен для пользователей Apple Music в Австралии, Испании и Швейцарии |
11: 40
Вкладыши и затычки: что опаснее для твоего слуха? |
11: 00
Samsung выпустила 200 млн компрессоров для холодильников |
11: 00
Беспилотный автобус «Матрешка» появится уже в 2017-ом году |
11: 00
Resident Evil перезапустят в кино |
10: 40
Опубликовано изображение планшета Verizon Ellipsis 10 HD |
10: 40
Bentley сделала специальный автомобиль для охотников |
10: 20
PowerColor готова приступить к поставкам видеокарты Radeon RX 570 4 GB Red Devil |
10: 00
Официально анонсирован смартфон Ulefone Gemini Pro |
10: 00
Люди предположительно достигнут ближайших звезд уже через 100 лет |
09: 20
Робоферма без людей откроется в Японии уже в этом году |
09: 20
«Яндекс.Метрика» обошла блокировку украинских властей с помощью Amazon |
08: 20
Странная массовая авария на мотогонке |
07: 40
Смартфон Nubia Z17 получит модную нынче стеклянную крышку с цветовыми переливами |
07: 40
Появился первый обзор коробки для пиццы от Apple |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003