Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Вторник, 21 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.
Дело в том, что в отрасли пока нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока выбор обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.
По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.
Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.
Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.
Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.
Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 404
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

16: 20
Оператор «Тинькофф Мобайл» заработает 13 декабря |
16: 20
Фото: Meizu 15 Plus — безрамочный флагман от китайского производителя |
16: 20
AliExpress срочно потребовал ИНН у российских покупателей |
16: 20
Porsche начала продавать фирменный... мёд |
16: 00
Продвижение мобильных приложений: видеореклама в приоритете |
15: 40
Чикагская биржа опционов запустила торговлю биткоин-фьючерсами |
15: 20
Toshiba могут убедить не продавать полупроводниковое производство |
15: 20
Цифра дня: Сколько заплатит Apple за Shazam? |
15: 20
Через 2 дня Тинькофф запустит собственного сотового оператора |
15: 00
Страхи и предпочтения стартаперов в 2017 году |
13: 40
Всего за месяц производственный партнер Apple заработал 18,5 млрд долларов |
13: 40
Почта Mail.Ru научилась подсказывать ответы |
13: 20
Сейф с Bluetooth взломали по Bluetooth. Кто бы мог подумать |
13: 20
Bugatti отзывает все выпущенные гиперкары Chiron |
13: 20
Блоки питания Corsair VS мощностью от 350 до 650 Вт относятся к бюджетному сегменту |
13: 20
LG начнет отгрузки 65- и 75-дюймовых ЖК-панелей компании Samsung уже в декабре |
13: 00
Улучшенные сканеры радужной оболочки глаза появятся в бюджетных смартфонах Samsung |
13: 00
Смартфоны OnePlus, включая новейший OnePlus 5T, не поддерживают стриминг HD-видео из популярных сервисов |
12: 40
ScummVM 2.0.0 /* подождать анонса на scummvm.org 2017-12-17 */ |
12: 40
Munt 2.2.0 |
12: 40
Левшей и правшей различили до рождения |
12: 20
«Билайн» раздаст облако Microsoft своим бизнес-клиентам |
12: 20
Смартфоны и ноутбуки Apple могут существенно снижать свою производительность при износе аккумулятора |
12: 20
Появилось описание еще одного концепта смартфона Samsung со сгибающимся дисплеем |
11: 40
Смартфон Sharp FS8018 протестирован в Geekbench |
11: 40
Роботы для маникюра, нитиноловый двигатель и плазменная пушка: «домашние видео» |
11: 20
Вышел PPSSPP 1.5.4 — эмулятор Sony PlayStation Portable |
10: 20
Powerbeats 3. Мои любимые беспроводные наушники |
10: 20
В Чикаго начались торги фьючерсами на биткоины: что это значит для рынка |
09: 20
Toyota научилась видеть пешеходов ночью |
08: 40
В список умных часов, которые получат обновление до Android Wear Oreo, входит 30 моделей |
Новости бизнесаСтатьиНоу ХауАналитикаДеньгиБизнес технологииКурс валют
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2017, 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003