Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Главная > Новости бизнеса > Hi-Tech > Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Возможности литографии по нормам 32 нм остаются под вопросом

Вторник, 21 февраля 2006 г.

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e

Вчера мы рассказывали об успехах компании IBM в деле освоения новых рубежей ультрафиолетовой иммерсионной литографии. Казалось бы, производители полупроводников получили надежду на то, что существующие технологии позволит им продержаться до подхода новых разработок. Однако не все так просто. Использование литографии все еще остается под большим вопросом, когда речь заходит о нормах 32 нм, освоение которых, по предварительным оценкам, ожидается в 2009 году. Источник рассказывает об опасениях, которыми вчера поделились эксперты бельгийской исследовательской организации IMEC на конференции SPIE Microlithography.
Дело в том, что в отрасли пока нет единого мнения, какая из разновидностей литографической технологии может быть использована при переходе к 32-нм процессу. Пока выбор обозначилось три технологии-кандидатки: ультрафиолетовая (EUV), 193-нм иммерсионная (использованная в разработке IBM) и технология с двойным экспонированием.
По мнению представителя IMEC, 193-нм иммерсионная технология и технология с двойным экспонированием являются "наименее рискованными". В своей лаборатории IMEC удалось с помощью 193-нм иммерсионной технологии изготовить элементы размером 40 нм. Использование иммерсионных жидкостей второго и третьего поколений с показателем преломления 1,65 и 1,8, теоретически, может обеспечить работу с нормами 32 нм. Как раз над созданием таких жидкостей и работают ученые.
Недостатки технологии с двойным экспонированием - повышенная стоимость, усложнение и удлинение производственного цикла.
Что касается EUV, то главными проблемами этой технологии являются разрешение и чувствительность фоторезиста, неоднородность краев линий. Кроме того, для EUV необходимы новые источники излучения. Срок жизни конденсора для EUV сейчас не превышает одного месяца. Ранее ожидалось, что к 2006 году удастся создать устройство, срок службы которого составит четыре года.
Могут ли такие трудности остановить стойких приверженцев EUV? По сведениям источника, оказавшись без соответствующего оборудования и материалов к намеченному ранее сроку, компания Intel отставила в сторону планы по внедрению EUV в серийном производстве по нормам 32 нм к 2009 году. Вместо этого, Intel теперь собирается сделать ставку на 193-нм литографию.
Источник: EE Times

Следите за нами в ВКонтакте, Facebook'e и Twitter'e


Просмотров: 381
Рубрика: Hi-Tech
(CY)

Архив новостей / Экспорт новостей

Ещё новости по теме:

18: 40
В Google Фото появилась поддержка AirPlay |
18: 20
В 2017 году Apple выпустит две модели iPhone, а не три – слухи |
18: 20
Galaxy S8+ может оказаться популярнее «компактного» Galaxy S8 |
18: 20
Tele2 запустил VoLTE вслед за МегаФоном, но не для всех |
18: 20
Олег Тиньков возглавил новую кафедру магистратуры МФТИ |
17: 40
Астрофизики МГУ изучили «омолаживающийся» пульсар в соседней галактике |
17: 40
Спутники показали, как рождается огромный айсберг |
17: 20
debian.org: останов общедоступных FTP-серверов |
16: 40
Экс-владелец сети казино «Вулкан» Олег Бойко решил дополнительно инвестировать в финтех-стартапы $150 млн |
16: 20
Компания Rambus отчиталась за первый квартал 2017 года: за год доход вырос на треть |
16: 20
Водоблок EK Water Blocks EK-FB Asus C6H RGB Monoblock предназначен для платы Asus ROG Crosshair VI Hero с процессорным гнездом AM4 |
16: 20
Tele2 запустил VoLTE в Москве |
16: 20
Canonical прекратит поддержку Ubuntu для смартфонов и планшетов в июне |
16: 20
Samsung оснастила фронталку Galaxy S8 оптической стабилизацией, но умолчала об этом |
16: 20
Принадлежащая Alphabet компания Waymo предложила жителям Аризоны бесплатные поездки на беспилотных минивэнах |
16: 00
15 Telegram-каналов, на которые нужно подписаться прямо сейчас |
16: 00
ДНК костей моряков может рассказать причину пропажи экипажа Франклина |
16: 00
Почему летучие мыши приземляются вниз головой |
15: 40
Стало известно, когда появится в продаже 3D-карта Colorful iGame GTX 1080 Ti Vulcan X OC |
15: 40
Sony Xperia XZ и Xperia X Performance начали обновляться до Android 7.1.1 Nougat |
15: 40
AGM A8 — «неубиваемый» смартфон стал еще дешевле |
15: 40
Meizu объявила о снижении цен на смартфоны в России |
15: 20
Мобильное приложение поможет очистить самый грязный город планеты |
15: 00
Amazon тоже занимается самоуправляемыми автомобилями |
15: 00
Водитель Lyft подал в суд на Uber из-за приложения для слежки Hell |
14: 40
Apple Pay заработал для карт Visa Сбербанка |
14: 40
Созданы садовые кресла с зарядкой для гаджетов |
14: 40
пїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅ Sony Xperia XZ Premium пїЅпїЅпїЅпїЅпїЅ пїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅ пїЅ пїЅпїЅпїЅпїЅпїЅ пїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅ пїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅпїЅ |
14: 20
В 2ГИС появились пешеходные маршруты |
14: 20
Samsung Pay официально заработал с картами Visa от Сбербанка |
14: 20
«Почта России» отчиталась о росте прибыли в 2016 году на 10% — до 1,7 млрд рублей |
Новости бизнесаСтатьиАналитические колонкиДеньгиКурс валютБизнес технологии
Rating@Mail.ru
Условия размещения рекламы

Наша редакция

Обратная связь

RosInvest.Com не несет ответственности за опубликованные материалы и комментарии пользователей. Возрастной цензор 16+.

Ответственность за высказанные, размещённую информацию и оценки, в рамках проекта RosInvest.Com, лежит полностью на лицах опубликовавших эти материалы. Использование материалов, допускается со ссылкой на сайт RosInvest.Com.

Skype: rosinvest.com (Русский, English, Zhōng wén).

Архивы новостей за: 2016, 2015, 2014, 2013, 2012, 2011, 2010, 2009, 2008, 2007, 2006, 2005, 2004, 2003